一種脈沖阻尼器及半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210007994.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114017575A 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN114017575A 申請公布日 2022-02-08
分類號 F16L55/054（2006.01）I;F16L55/055（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 時(shí)新宇;趙天翔;王大權(quán);李旭 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州友佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 龔心怡
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種脈沖阻尼器及半導(dǎo)體設(shè)備，該脈沖阻尼器包括形成密封空腔的遮蔽殼體，以及設(shè)置于遮蔽殼體內(nèi)的液體囊；密封空腔被液體囊隔離以形成體積可變的液體腔以及氣體腔，遮蔽殼體設(shè)置與氣體腔連通的出氣閥，出氣閥包括出氣閥體，出氣閥體形成供氣體排出氣體腔的出氣通道及與出氣通道連通的通氣孔；出氣閥體內(nèi)置被出氣通道活動(dòng)收容的活動(dòng)啟閉組件，以通過液體流經(jīng)液體囊所導(dǎo)致的液體腔的體積變化而觸發(fā)活動(dòng)啟閉組件遮蔽與暴露通氣孔。通過本申請，減小了液體管路系統(tǒng)內(nèi)的液體在通過循環(huán)泵輸送的過程中而產(chǎn)生的壓力脈沖值并減弱了液體對液體管路系統(tǒng)的沖擊，消除了水錘現(xiàn)象，從而在液體管路系統(tǒng)中通過阻尼原理，實(shí)現(xiàn)了對輸送液體的整流。