一種石英玻璃直管清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111270102.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113953280A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113953280A 申請公布日 2022-01-21
分類號 B08B9/027（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 華斌;張洋;時新宇 申請（專利權）人 智程半導體設備科技（昆山）有限公司
代理機構 蘇州友佳知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 儲振
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了石英玻璃直管清洗裝置，包括清洗罩，與清洗罩活動插接裝配的上端蓋與下端蓋，設置于上端蓋內的上承載臺，設置于下端蓋內的下承載臺，獨立驅動上承載臺與下承載臺作同步轉動的第一驅動裝置與第二驅動裝置，驅動上端蓋作升降運動的升降機構，豎直向下并延伸過上承載臺的上內噴管，及豎直向上并延伸過下承載臺的下內噴管；上承載臺與下承載臺沿豎直方向對向活動夾持石英玻璃直管兩端的敞口，上內噴管與下內噴管對向噴射形成與石英玻璃直管內部腔體適配的圓柱狀噴射束流。通過本發(fā)明，有效地確保了長徑比較大的石英玻璃直管在呈豎直姿態(tài)執(zhí)行清洗及干燥過程中旋轉的穩(wěn)定性，有效地去除了粘附在內壁面上的雜質或者晶粒。