旋轉(zhuǎn)式石英管清洗干燥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111270255.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113953281A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113953281A 申請公布日 2022-01-21
分類號 B08B9/027（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 華斌;劉國強;李文軒 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州友佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 儲振
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了旋轉(zhuǎn)式石英管清洗干燥裝置，包括底座，設(shè)置于底座內(nèi)并箍持石英管的唇口的承載臺，與承載臺活動扣合以整體遮蔽石英管的清洗帽，驅(qū)動清洗帽作軸向轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動裝置，整體驅(qū)動清洗帽與第一驅(qū)動裝置沿豎直方向作升降運動的第二驅(qū)動裝置，與承載臺呈豎直設(shè)置并貫穿承載臺的內(nèi)噴管，以及驅(qū)動內(nèi)噴管作軸向轉(zhuǎn)動的第三驅(qū)動裝置；清洗帽的內(nèi)壁面設(shè)置側(cè)向連續(xù)間隔布置的若干第一噴嘴，內(nèi)噴管設(shè)置豎直延伸入石英管內(nèi)部的若干第二噴嘴，當清洗帽與承載臺呈扣合狀態(tài)以整體遮蔽石英管時，清洗帽被第一驅(qū)動裝置驅(qū)動以執(zhí)行軸向轉(zhuǎn)動。本發(fā)明避免了石英管晃動及清洗干燥過程中對石英管的內(nèi)外壁面造成劃傷問題，并具有更好的清洗效果。