一種用于PECVD爐口進(jìn)氣裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122491097.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216473475U 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN216473475U 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙科巍;張?jiān)迄i;魯貴林;呂愛武 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山西潞安太陽(yáng)能科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司 代理人 -
地址 046000山西省長(zhǎng)治市高新區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及太陽(yáng)能電池鍍膜領(lǐng)域。一種用于PECVD爐口進(jìn)氣裝置，包括容器和散氣環(huán)，容器上殼體和容器下殼體密封連接在一起構(gòu)成容器，容器上殼體頂部有多個(gè)單一氣體進(jìn)氣口，容器下殼體與容器上殼體連接的口部有內(nèi)沿，內(nèi)沿上安裝有混氣層，容器下殼體底部通過立柱安裝混和氣球，混和氣球通過管道連接混合氣出口；散氣環(huán)的外壁有連接內(nèi)外的帶內(nèi)螺紋的第一通孔，PECVD爐口部對(duì)應(yīng)散氣環(huán)的第一通孔處有第二通孔，第一通孔和第二通孔通過螺紋連接安裝混合氣進(jìn)氣裝置，進(jìn)氣裝置通過管道連接混合氣出口。