一種用于PECVD爐口進氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122491097.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216473475U 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN216473475U 申請公布日 2022-05-10
分類號 C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙科巍;張云鵬;魯貴林;呂愛武 申請（專利權）人 山西潞安太陽能科技有限責任公司
代理機構 太原市科瑞達專利代理有限公司 代理人 -
地址 046000山西省長治市高新區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領域，特別是涉及太陽能電池鍍膜領域。一種用于PECVD爐口進氣裝置，包括容器和散氣環(huán)，容器上殼體和容器下殼體密封連接在一起構成容器，容器上殼體頂部有多個單一氣體進氣口，容器下殼體與容器上殼體連接的口部有內(nèi)沿，內(nèi)沿上安裝有混氣層，容器下殼體底部通過立柱安裝混和氣球，混和氣球通過管道連接混合氣出口；散氣環(huán)的外壁有連接內(nèi)外的帶內(nèi)螺紋的第一通孔，PECVD爐口部對應散氣環(huán)的第一通孔處有第二通孔，第一通孔和第二通孔通過螺紋連接安裝混合氣進氣裝置，進氣裝置通過管道連接混合氣出口。