一種解決堿拋SE-PERC電池EL不良的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110422738.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113257954B 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN113257954B 申請公布日 2022-05-10
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張志強;王斌;戴大洲;趙晨;蔣萬昌 申請（專利權(quán)）人 山西潞安太陽能科技有限責任公司
代理機構(gòu) 太原市科瑞達專利代理有限公司 代理人 -
地址 046000山西省長治市郊區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)領域。種解決堿拋SE?PERC電池EL不良的方法，擴散過程按如下步驟進行，入舟排空，制絨后的硅片放入石英舟，然后將石英舟放入擴散爐中，通入氮氣排除空氣；前氧化，前氧化分兩步，分別通入不同濃度的氮氣和氧氣，第一步在硅片表面形成深而疏的氧化層，第二步在第一步的基礎上形成密而薄的氧化層；多步擴散和推進；后氧化，后氧化分三步，第一步采用恒溫氧化，第二步采用恒溫補源氧化，第三步采用低溫氧化；出管，測試。