一種PECVD石墨舟存儲(chǔ)與下料方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210286205.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114717537A 公開（公告）日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114717537A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) C23C16/44（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊飛飛;張波;張?jiān)迄i;申開愉;李雪方;呂濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山西潞安太陽能科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司 代理人 -
地址 046000山西省長(zhǎng)治市高新區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及PECVD石墨舟存儲(chǔ)及下料領(lǐng)域。一種PECVD石墨舟存儲(chǔ)與下料方法，石墨舟的冷卻時(shí)間從石墨舟反應(yīng)完置于PECVD石墨舟的搬運(yùn)區(qū)域開始計(jì)時(shí)，冷卻時(shí)間Tx代表X編號(hào)存儲(chǔ)位置上對(duì)應(yīng)石墨舟的冷卻時(shí)間；將上下料存儲(chǔ)區(qū)域、進(jìn)出爐管存儲(chǔ)區(qū)域位置狀態(tài)依據(jù)有無石墨舟存放設(shè)置為1和0，1有，0無；根據(jù)PECVD石墨舟的搬運(yùn)區(qū)域的存儲(chǔ)區(qū)域的位置狀態(tài)和石墨舟的冷卻時(shí)間對(duì)存儲(chǔ)區(qū)域上石墨舟進(jìn)行移動(dòng)及下料。