一種PECVD石墨舟存儲與下料方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210286205.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114717537A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114717537A 申請公布日 2022-07-08
分類號 C23C16/44（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊飛飛;張波;張云鵬;申開愉;李雪方;呂濤 申請（專利權(quán)）人 山西潞安太陽能科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 太原市科瑞達專利代理有限公司 代理人 -
地址 046000山西省長治市高新區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及PECVD石墨舟存儲及下料領(lǐng)域。一種PECVD石墨舟存儲與下料方法，石墨舟的冷卻時間從石墨舟反應(yīng)完置于PECVD石墨舟的搬運區(qū)域開始計時，冷卻時間Tx代表X編號存儲位置上對應(yīng)石墨舟的冷卻時間；將上下料存儲區(qū)域、進出爐管存儲區(qū)域位置狀態(tài)依據(jù)有無石墨舟存放設(shè)置為1和0，1有，0無；根據(jù)PECVD石墨舟的搬運區(qū)域的存儲區(qū)域的位置狀態(tài)和石墨舟的冷卻時間對存儲區(qū)域上石墨舟進行移動及下料。