低溫濺射銅鋅錫硒太陽能電池

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410013785.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104779318A 公開（公告）日 2015-07-15
申請公布號 CN104779318A 申請公布日 2015-07-15
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬給民;保羅比蒂 申請（專利權(quán)）人 東莞日陣薄膜光伏技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 523808 廣東省東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)工業(yè)北四路松山湖工業(yè)大廈415、418室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型的，屬于“鋅黃錫礦”類的，“銅鋅錫硒”薄膜太陽能電池，與“銅銦鎵硒”薄膜太陽能電池的結(jié)構(gòu)十分相近，但它對“銅，鋅，錫，硒”的化學(xué)成分匹配更為嚴(yán)格，我們使用四元素陶瓷靶，一次性“低溫濺射，后硒化”工藝制造的“銅鋅錫硒”薄膜太陽能電池，在鈉鈣玻璃基板上鍍有約0.35至1.0微米厚的鉬薄膜，在鉬薄膜層上鍍上約0.7至1.5微米厚的“銅鋅錫硒”薄膜，經(jīng)退火后，結(jié)成晶體，在“銅鋅錫硫”薄膜晶體上經(jīng)“化學(xué)水浴沉積（CBD）”工藝，沉積“硫化鎘”，建立“p-n結(jié)”薄膜區(qū)域；使用低溫濺射，沒有“硒”流失的弱點；對大面積，化學(xué)成分的均勻性及重復(fù)性生產(chǎn)有極大的優(yōu)勢，能促進批量生產(chǎn)。