一種焰熔法數(shù)控晶體生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721611398.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN207537594U 公開（公告）日 2018-06-26
申請公布號(hào) CN207537594U 申請公布日 2018-06-26
分類號(hào) C30B11/10;C30B29/16;C30B29/32 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 畢孝國;周文平;唐堅(jiān);劉旭東;孫旭東 申請（專利權(quán)）人 沈陽旭日晶體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽銘揚(yáng)聯(lián)創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈陽工程學(xué)院;沈陽旭日晶體科技有限公司
地址 110136 遼寧省沈陽市沈北新區(qū)蒲昌路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于新材料領(lǐng)域，為一種焰熔法數(shù)控晶體生長爐，包括:晶體生長系統(tǒng)，包括晶體生長爐、穿入晶體生長爐內(nèi)，用于作為晶體生長的載體的晶體生長基座桿，通過電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)絲杠傳遞至晶體晶體生長基座桿做上下運(yùn)動(dòng)的升降速度控制機(jī)構(gòu)；原料供應(yīng)系統(tǒng)，包括錐形原料倉，在所述原料倉內(nèi)設(shè)置篩網(wǎng)，所述原料倉的進(jìn)料口安裝有篩網(wǎng)振動(dòng)機(jī)構(gòu)；燃料供應(yīng)系統(tǒng)，通過管線連接至生長室；數(shù)字控制系統(tǒng)，向升降速度控制機(jī)構(gòu)、篩網(wǎng)振動(dòng)振幅控制機(jī)構(gòu)、篩網(wǎng)振動(dòng)頻率控制機(jī)構(gòu)以及進(jìn)氣系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)，并用于設(shè)置控制參數(shù)。本實(shí)用新型能夠生長出微觀結(jié)構(gòu)完整的高品質(zhì)的高溫下特別是熔體狀態(tài)下具有分解傾向的高溫氧化物單晶體，如鈦酸鍶、金紅石等單晶體。