一種光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)和光路準(zhǔn)直調(diào)試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110385348.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113109030A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113109030A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 虞天成;徐佳維;王俊;潘華東;俞浩;閔大勇;廖新勝 申請（專利權(quán)）人 蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛異榮
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)昆侖山路189號科技城工業(yè)坊-A區(qū)2號廠房-1-102、2號廠房-2-203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)和光路準(zhǔn)直調(diào)試方法，光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)包括：光源；反射式布拉格光柵，所述反射式布拉格光柵的衍射角度可調(diào)；位于所述光源和所述反射式布拉格光柵之間的準(zhǔn)直透鏡，所述準(zhǔn)直透鏡沿光路上的位置可調(diào)；位于所述反射式布拉格光柵一側(cè)的探測單元；所述反射式布拉格光柵適于接收被所述準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直之后的光并衍射至探測單元。所述光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)評判光束的準(zhǔn)直性的準(zhǔn)確性提高。