一種可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110252252.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113054531A 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113054531A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) H01S5/183;H01S5/042;H01S5/12;H01S5/062;H01S5/068 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖垚;王俊;劉恒;閔大勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛異榮
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)昆侖山路189號(hào)科技城工業(yè)坊-A區(qū)2號(hào)廠房-1-102、2號(hào)廠房-2-203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器及其制備方法，其中，可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器包括：襯底層；位于所述襯底層上的增益結(jié)構(gòu)；位于所述增益結(jié)構(gòu)背向所述襯底層一側(cè)的光柵層，所述光柵層包括若干柵本體和相鄰柵本體之間的光柵縫，所述柵本體的材料為電光材料；位于所述增益結(jié)構(gòu)背向所述襯底層一側(cè)的第一電極層，所述第一電極層適于對(duì)所述柵本體加電調(diào)制。所述可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器穩(wěn)定性和可靠性提高。