一種晶圓傳片系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110251220.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113035762A 公開（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN113035762A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) H01L21/677;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 儲(chǔ)昭澤;龔來俊;王俊;劉恒;張玉國(guó) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州長(zhǎng)光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉林濤
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)昆侖山路189號(hào)科技城工業(yè)坊-A區(qū)2號(hào)廠房-1-102、2號(hào)廠房-2-203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓傳片系統(tǒng)，該晶圓傳片系統(tǒng)包括：傳輸腔；反應(yīng)腔，與所述傳輸腔相鄰設(shè)置；機(jī)械導(dǎo)軌，設(shè)置在所述傳輸腔中，并且所述機(jī)械導(dǎo)軌的其中一端設(shè)置在所述傳輸腔靠近所述反應(yīng)腔的側(cè)壁上；晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)，設(shè)置在所述機(jī)械導(dǎo)軌上，所述晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)上設(shè)置有適于放置晶圓的晶圓容納腔；旋轉(zhuǎn)氣缸，通過驅(qū)動(dòng)臂與所述晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)連接；在所述旋轉(zhuǎn)氣缸的驅(qū)動(dòng)作用下，所述晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)適于在所述機(jī)械導(dǎo)軌上滑動(dòng)并將晶圓從所述傳輸腔轉(zhuǎn)移至所述反應(yīng)腔。如此設(shè)置，采用旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)臂完成機(jī)械傳片動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)臂做圓弧運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)做直線運(yùn)動(dòng)，在控制啟動(dòng)和停止時(shí)晶圓轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)速度較慢，中間運(yùn)行速度較快，提高了傳片穩(wěn)定性。