濕法刻蝕烘干設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920056415.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209282177U 公開（公告）日 2019-08-20
申請公布號 CN209282177U 申請公布日 2019-08-20
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 武慧亮; 高少輝 申請（專利權(quán)）人 包頭市山晟新能源有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 袁禮君;闞梓瑄
地址 014100 內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土右旗薩拉齊鎮(zhèn)新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種濕法刻蝕烘干設(shè)備，屬于濕法刻蝕技術(shù)領(lǐng)域。該濕法刻蝕烘干設(shè)備包括用于設(shè)于一作業(yè)空間內(nèi)的烘干裝置、空氣過濾裝置、連接烘干裝置的進(jìn)氣口和空氣過濾裝置的出氣口的第一連接管、用于檢測第一連接管內(nèi)的空氣中的顆粒物濃度的第一顆粒物檢測器、與第一顆粒物檢測器連接的控制裝置、能在控制裝置控制下報警的第一警報裝置、風(fēng)機(jī)、連接空氣過濾裝置的進(jìn)氣口和風(fēng)機(jī)的出氣口的第二連接管和多個第三連接管，其中，各第三連接管的出氣口均連接風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口；各第三連接管均能伸出作業(yè)空間，且進(jìn)氣口能相互隔離地固定于作業(yè)空間外；任一第三連接管上設(shè)置有閥門。該濕法刻蝕烘干設(shè)備能避免酸性空氣進(jìn)入烘干裝置污染硅片，保證硅片的良率。