水冷裝置及單晶硅生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820384023.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208038587U 公開（公告）日 2018-11-02
申請公布號 CN208038587U 申請公布日 2018-11-02
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳家駿;鄒凱;曾世銘;徐由兵;田棟東 申請（專利權(quán)）人 包頭市山晟新能源有限責任公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 闞梓瑄;王衛(wèi)忠
地址 014100 內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土右旗薩拉齊鎮(zhèn)新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種水冷裝置及單晶硅生長爐。本實用新型的水冷裝置用于單晶硅生長爐，包括法蘭盤、管道、內(nèi)導流筒、外導流筒和導流筒夾層。法蘭盤，設(shè)于爐體頂部，爐蓋設(shè)于所述法蘭盤上，法蘭盤設(shè)有能與外界連通的進水口和出水口。管道設(shè)于爐內(nèi)并沿豎直方向呈環(huán)狀，以形成供單晶硅棒伸入的水套，管道的一端與進水口連通，另一端與出水口連通。內(nèi)導流筒設(shè)于水套外部，內(nèi)導流筒外部還設(shè)有外導流筒，內(nèi)導流筒與外導流筒形成導流筒夾層。使用本實用新型的水冷裝置，能提高單晶硅的生長速度，提高產(chǎn)量。