一種晶圓對心裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021325834.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212907652U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212907652U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 徐永亮;王均濤;馮微;陳宇超 | 申請（專利權(quán)）人 | 浙江昀豐新材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 逯長明;許偉群 |
| 地址 | 321000浙江省金華市金東區(qū)康濟(jì)北街1378號綜合樓四樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供一種晶圓對心裝置，包括箱體、測量機(jī)構(gòu)、X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)以及真空吸附機(jī)構(gòu)，其中，測量機(jī)構(gòu)和X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)均設(shè)置在箱體的內(nèi)部，測量機(jī)構(gòu)位于X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)的左側(cè)，真空吸附機(jī)構(gòu)同軸固定在X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)上，晶圓放置在真空吸附機(jī)構(gòu)上。本實用新型測量機(jī)構(gòu)中的CCD激光傳感器，具有能夠消除現(xiàn)有激光造成的斑駁、圖像清晰、穩(wěn)定性好、體積小及抗干擾能力強(qiáng)的優(yōu)點，采用X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)，使調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)更加簡單，節(jié)省了成本，提高了晶圓對準(zhǔn)的效率，X?Z?θ調(diào)整機(jī)構(gòu)中的θ軸中空旋轉(zhuǎn)平臺也能夠使得晶圓對準(zhǔn)精度更高，箱體上設(shè)置有支角，可以實現(xiàn)對4寸或6寸不同規(guī)格晶圓的對心，適用性更強(qiáng)。?? |
