光譜共焦位移傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110531567.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113280728A | 公開（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113280728A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-20 |
| 分類號(hào) | G01B9/02（2006.01）I;G01N21/45（2006.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 高培麗 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京中科神光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 210038江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)恒園路龍港科技園A棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種光譜共焦位移傳感器，寬光譜LED通過光纖耦合器和分束器系統(tǒng)將光分為兩條光路，其中第一路光線通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長的準(zhǔn)單色光，第二路光線直接垂直入射到鏡面反射模塊，通過計(jì)算機(jī)對(duì)寬光譜LED進(jìn)行白光歸一化處理，提高測量精度，并監(jiān)控LED隨使用時(shí)間的衰減，根據(jù)衰減定時(shí)重新歸一化處理光源和積分時(shí)間；第一路光線經(jīng)色散鏡頭和被測物體反射到光纖光譜儀內(nèi)的光與第二路光線反射回光纖光譜儀的白光發(fā)生干涉，根據(jù)干涉條紋的間距進(jìn)一步更精確的計(jì)算距離值。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)單個(gè)色散鏡頭模塊初步測量距離值和色散鏡頭模塊與鏡面反射模塊的干涉光精確測量距離值相結(jié)合，提高測量精度。 |
