一種半導(dǎo)體圓晶清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121815116.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215745180U 公開(kāi)（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN215745180U 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類號(hào) B08B3/10（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張玉光 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇沃凱氟精密智造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京勤行知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 呂波
地址 221600江蘇省徐州市沛縣河口鎮(zhèn)袁圩子村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體圓晶清洗裝置，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括支撐板，所述支撐板一側(cè)安裝有電機(jī)，所述電機(jī)一端固定連接軸承，所述軸承一端固定連接連接桿，所述連接桿一側(cè)安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)架，本實(shí)用新型通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)很多個(gè)放置槽來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)的方式使得半導(dǎo)體晶圓能夠在清洗時(shí)進(jìn)行全方位的清洗效果，同時(shí)在帶動(dòng)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候也可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力效果來(lái)提高清洗的效果，通過(guò)安裝的過(guò)濾板a來(lái)對(duì)其進(jìn)行過(guò)濾的效果，通過(guò)回收池內(nèi)部安裝的過(guò)濾板b來(lái)對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步的過(guò)濾效果，通過(guò)水泵連接電源，通過(guò)抽水管向回收池過(guò)濾后的清洗液進(jìn)行抽取，通過(guò)導(dǎo)水管在將清洗液輸送到清洗池內(nèi)，可以對(duì)其進(jìn)行循環(huán)利用的效果，降低清洗成本。