乙硅烷制備設(shè)備和制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110280743.9 申請日 -
公開(公告)號 CN113083166A 公開(公告)日 2021-07-09
申請公布號 CN113083166A 申請公布日 2021-07-09
分類號 B01J8/06(2006.01)I;C01B33/04(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 趙雄;劉見華;萬燁;嚴大洲;郭樹虎;常欣 申請(專利權(quán))人 洛陽中硅高科技有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 杜德海
地址 471023河南省洛陽市洛龍科技工業(yè)園牡丹大道西1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種乙硅烷制備設(shè)備和制備方法。根據(jù)本發(fā)明實施例的乙硅烷制備設(shè)備包括加熱裝置,加熱裝置具有第一進氣口和第一出氣口;催化脫氫反應器,催化脫氫反應器具有第二進氣口和第二出氣口;深冷裝置,深冷裝置具有第三進氣口、第三出液口和第三廢氣出口;脫輕分離塔,脫輕分離塔具有第四進料口、第四出氣口和第四出液口;吸附裝置,吸附裝置具有第五進料口和第五出料口;和脫重分離塔,脫重分離塔具有第六進料口、第六出氣口和第六出液口。因此,根據(jù)本發(fā)明實施例的乙硅烷制備設(shè)備具有乙硅烷的轉(zhuǎn)化率高、生產(chǎn)效率高、減少資源浪費和降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點。