四氯化硅尾氣的處理裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010113131.6 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN113289468A | 公開(公告)日 | 2021-08-24 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113289468A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
分類號(hào) | B01D53/68(2006.01)I;B01D53/73(2006.01)I;B01D53/78(2006.01)I;B01D53/96(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
發(fā)明人 | 楊典;王芳;萬燁;趙雄;孫強(qiáng);張征;秦琴;郭樹虎 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 洛陽中硅高科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 王曉玲 |
地址 | 471023河南省洛陽市洛龍科技工業(yè)園牡丹大道西1號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種四氯化硅尾氣的處理裝置。該處理裝置包括:第一反應(yīng)器,用于使四氯化硅尾氣與過量堿液反應(yīng)得到含有硅酸鹽和次氯酸鹽的第一反應(yīng)產(chǎn)物;固液分離器,與第一反應(yīng)器的出口連通,用于將第一反應(yīng)產(chǎn)物固液分離以得到分離液;第二反應(yīng)器,與固液分離器的出口連通,用于使次氯酸鹽與還原劑發(fā)生氧化還原反應(yīng)轉(zhuǎn)化為氯鹽以得到第二反應(yīng)產(chǎn)物;酸堿中和裝置,與第二反應(yīng)器的出口連通,用于將酸液與第二反應(yīng)產(chǎn)物混合以中和過量的堿液。采用上述裝置對(duì)四氯化硅尾氣進(jìn)行處理時(shí),能夠利用亞硫酸鈉等還原劑處理掉淋洗后廢堿液中的次氯酸鹽,從而避免了次氯酸鹽在酸性環(huán)境下生成的氯氣在設(shè)備或者管道低處的聚集,降低了生產(chǎn)安全隱患的發(fā)生。 |
