一種反應燒結碳化硅大舟托的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110911054.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113880582A 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN113880582A 申請公布日 2022-01-04
分類號 C04B35/565（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 王興龍;趙金;皇甫丙臣;楊凱;王新波 申請（專利權）人 陜西固勤材料技術有限公司
代理機構 西安西達專利代理有限責任公司 代理人 劉華
地址 710399陜西省西安市鄠邑區(qū)西安灃京工業(yè)園灃二東路路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種反應燒結碳化硅大舟托的制備方法，素坯分開制作，干燥后精加工，后進行拼接，拼接過程中需要使用工裝，燒結過程的變形控制：使用工裝進行約束，燒成后的使用白剛玉24?60目的材料進行粗噴，檢測并標記有冷凝硅的地方，精細精品處理。本方案采用反應燒結碳化硅材料代替石英舟托盤，大大的延長了舟托的使用壽命，減少了停機更換頻次；碳化硅材質較石英材質的強度高、導熱性能好，對產(chǎn)品擴散性更好。素坯精細加工后進行卯榫結構拼接再燒結，使用石墨仿形工裝進行支撐和約束，最終達到低成本生產(chǎn)高精度、高性能的反應燒結碳化硅材料的舟托。目前已在市場上批量應用。