一種反應(yīng)燒結(jié)碳化硅大舟托的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110911054.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113880582A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN113880582A 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) C04B35/565（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 王興龍;趙金;皇甫丙臣;楊凱;王新波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西固勤材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安西達(dá)專利代理有限責(zé)任公司 代理人 劉華
地址 710399陜西省西安市鄠邑區(qū)西安灃京工業(yè)園灃二東路路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種反應(yīng)燒結(jié)碳化硅大舟托的制備方法，素坯分開(kāi)制作，干燥后精加工，后進(jìn)行拼接，拼接過(guò)程中需要使用工裝，燒結(jié)過(guò)程的變形控制：使用工裝進(jìn)行約束，燒成后的使用白剛玉24?60目的材料進(jìn)行粗噴，檢測(cè)并標(biāo)記有冷凝硅的地方，精細(xì)精品處理。本方案采用反應(yīng)燒結(jié)碳化硅材料代替石英舟托盤(pán)，大大的延長(zhǎng)了舟托的使用壽命，減少了停機(jī)更換頻次；碳化硅材質(zhì)較石英材質(zhì)的強(qiáng)度高、導(dǎo)熱性能好，對(duì)產(chǎn)品擴(kuò)散性更好。素坯精細(xì)加工后進(jìn)行卯榫結(jié)構(gòu)拼接再燒結(jié)，使用石墨仿形工裝進(jìn)行支撐和約束，最終達(dá)到低成本生產(chǎn)高精度、高性能的反應(yīng)燒結(jié)碳化硅材料的舟托。目前已在市場(chǎng)上批量應(yīng)用。