一種半導(dǎo)體懸臂槳產(chǎn)品的碳化硅含量提純、提升方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210136418.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114409407A 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN114409407A 申請公布日 2022-04-29
分類號 C04B35/565（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 王興龍;趙金;皇甫丙臣;馬濤;張俊偉;李步軍;李信榮;楊凱 申請（專利權(quán)）人 陜西固勤材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安西達(dá)專利代理有限責(zé)任公司 代理人 劉華
地址 710300陜西省西安市鄠邑區(qū)西安灃京工業(yè)園灃二東路路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種半導(dǎo)體懸臂槳產(chǎn)品的碳化硅含量提純、提升方法，碳化硅原料使用硝酸、氫氟酸、鹽酸進(jìn)行酸洗提純,烘干；采用有機(jī)材質(zhì)的攪拌鍋攪拌原料得到合適的漿料；注漿模具配合的工裝表面進(jìn)行封裝，漿料注漿入到處理好的注漿模具中；注漿成型后，干燥后脫模成素坯，修整采用碳化硅砂紙?zhí)幚?；胚體裝爐燒結(jié)得到碳化硅懸臂槳半成品；出爐后的碳化硅懸臂槳半成品不打磨，使用碳化硅顆粒、干冰進(jìn)行噴砂處理，將步驟7）處理好的碳化硅懸臂槳半成品通入高純一甲基三氯硅烷，沉淀形成CVD涂層，得到成品碳化硅懸臂槳。少了金屬雜質(zhì)的引入，提高產(chǎn)品的強(qiáng)度，避免脆斷的發(fā)生，有效的延長了產(chǎn)品的使用壽命，同時(shí)由于減少了金屬雜質(zhì)，可使用于半導(dǎo)體產(chǎn)品中。