一種半導體晶圓表面清理和安全儲存保護箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011061557.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112133659A 公開（公告）日 2020-12-25
申請公布號 CN112133659A 申請公布日 2020-12-25
分類號 H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 溫妖 申請（專利權(quán)）人 深圳市云陌科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 323900 浙江省麗水市青田縣溫溪鎮(zhèn)富江路107號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開的一種半導體晶圓表面清理和安全儲存保護箱，包括箱體，所述箱體內(nèi)設有升降腔，所述升降腔左右壁之間上下滑動的設有夾持塊，所述夾持塊內(nèi)設有開口向下的夾緊板腔，本發(fā)明將刻蝕之后半導體晶圓進行沖洗和烘干保存，刻蝕之后的晶圓的縫隙中會有一些廢屑，由于比較小，不好清除，本裝置將刻蝕好的晶圓夾持之后，噴灑清洗液，通過旋轉(zhuǎn)晶圓和翻轉(zhuǎn)晶圓，使縫隙中的廢屑掉落，烘干裝置將廢屑吹落和烘干晶圓，處理好之后的晶圓分別儲存在各個儲存腔中保存，儲存箱中的減震裝置可以減少裝置運動產(chǎn)生的震動，使晶圓的儲存環(huán)境比較穩(wěn)定防止振動損壞晶圓。