一種非接觸式超聲波面形修拋方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110361546.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102441820B 公開（公告）日 2013-10-09
申請公布號 CN102441820B 申請公布日 2013-10-09
分類號 B24B1/04(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 黃啟泰 申請（專利權(quán)）人 蘇州日高微納光學精密機械有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 蘇州大學;蘇州日高微納光學精密機械有限公司;蘇州蘇大明世光學股份有限公司
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及小口徑脆性高硬度材料的高精度非球面超聲波拋光方法，公開了一種非接觸式超聲波面形修拋方法及其裝置。本發(fā)明利用圓形振子產(chǎn)生的超聲簡諧振動在液體中的傳播特性對脆性硬質(zhì)合金材料進行拋光，能夠獲得高斯型分布的、穩(wěn)定的材料去除函數(shù)。設定覆蓋整個被加工表面的拋光路徑后，依據(jù)所得到的材料去除函數(shù)和被加工面的殘余誤差確定工具頭在拋光路徑上各點的駐留時間，編制加工程序，輸入數(shù)控機床，進行修拋加工。本發(fā)明結(jié)合數(shù)控技術對表面不同區(qū)域?qū)崿F(xiàn)材料去除量的精確控制，可以對各種平面、球面、非球面等光學表面進行面形修正拋光，獲得高面形精度的光學表面。