一種單晶吸塵泵控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200820302773.5 申請日 -
公開（公告）號 CN201288224Y 公開（公告）日 2009-08-12
申請公布號 CN201288224Y 申請公布日 2009-08-12
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 何紫平;胥敬東;丁宇翔 申請（專利權）人 湖州新元泰微電子有限公司
代理機構 貴陽中新專利商標事務所 代理人 湖州新元泰微電子有限公司
地址 313009浙江省湖州市南潯區(qū)華僑投資區(qū)2號路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶吸塵泵控制裝置。包括開關電源(S1)，開關電源(S1)的直流輸出端“+”極與可編程控制器(IC1)的L端連接，開關電源(S1)的直流輸出端“-”極與可編程控制器(IC1)的N端連接；可編程控制器(IC1)上設有一組輸出接口、一組輸入接口、一組交流電源接口和一組直流電源接口；一組輸出接口分別與執(zhí)行元件和指示元件連接；一組輸入接口分別與指令元件和保護元件連接。本實用新型可提高單晶吸塵泵的自動化水平，并可同時控制兩套單晶吸塵泵，操作簡單。