一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200820302767.X 申請日 -
公開（公告）號 CN201305647Y 公開（公告）日 2009-09-09
申請公布號 CN201305647Y 申請公布日 2009-09-09
分類號 C30B15/00(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I;F27D7/02(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 何紫平;胥敬東;丁宇翔 申請（專利權(quán)）人 湖州新元泰微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽中新專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 湖州新元泰微電子有限公司
地址 313009浙江省湖州市南潯區(qū)華僑投資區(qū)2號路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置。它包括氣閥開關(guān)(1)，氣閥開關(guān)(1)的入口與供氣管道連接；氣閥開關(guān)(1)的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲(2)和流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲(2)的出口經(jīng)流量計甲(4)與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的出口經(jīng)流量計乙(5)與單晶爐連接。本實用新型將現(xiàn)有技術(shù)中使用的帶流量計的流量調(diào)節(jié)閥分別用技術(shù)比較成熟的流量調(diào)節(jié)閥和流量計替代后，產(chǎn)生了有益的效果，有效的防止了氬氣管路的泄漏，提高了單晶生產(chǎn)的成品率。