一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200820302767.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201305647Y 公開(kāi)（公告）日 2009-09-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN201305647Y 申請(qǐng)公布日 2009-09-09
分類(lèi)號(hào) C30B15/00(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I;F27D7/02(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 何紫平;胥敬東;丁宇翔 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖州新元泰微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽(yáng)中新專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 湖州新元泰微電子有限公司
地址 313009浙江省湖州市南潯區(qū)華僑投資區(qū)2號(hào)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置。它包括氣閥開(kāi)關(guān)(1)，氣閥開(kāi)關(guān)(1)的入口與供氣管道連接；氣閥開(kāi)關(guān)(1)的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲(2)和流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲(2)的出口經(jīng)流量計(jì)甲(4)與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的出口經(jīng)流量計(jì)乙(5)與單晶爐連接。本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中使用的帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥分別用技術(shù)比較成熟的流量調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)替代后，產(chǎn)生了有益的效果，有效的防止了氬氣管路的泄漏，提高了單晶生產(chǎn)的成品率。