一種單晶爐加熱器底盤
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN200820302772.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN201305649Y | 公開(公告)日 | 2009-09-09 |
申請公布號 | CN201305649Y | 申請公布日 | 2009-09-09 |
分類號 | C30B15/18(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 何紫平;胥敬東;丁宇翔 | 申請(專利權(quán))人 | 湖州新元泰微電子有限公司 |
代理機構(gòu) | 貴陽中新專利商標事務(wù)所 | 代理人 | 劉 楠;程新敏 |
地址 | 313009浙江省湖州市南潯區(qū)華僑投資區(qū)2號路 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種單晶爐加熱器底盤。包括底盤(1);底盤(1)上設(shè)有兩個電極孔(2),兩個電極孔(2)的間距為450~470mm。與現(xiàn)有技術(shù)相比,現(xiàn)有的單晶爐加熱器底盤上的兩個電極孔距離較遠,一般為680mm左右,功耗較大。本實用新型將兩個電極孔的距離縮小為460mm左右,可有效降低單晶爐的能耗。改進后耗費功率可以降低大約10個千瓦。 |
