一種PECVD特氣管路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920978763.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210560740U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210560740U 申請公布日 2020-05-19
分類號 C23C16/455;C23C16/50;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙洪俊;宛正 申請（專利權(quán)）人 阜寧蘇民綠色能源科技有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 阜寧蘇民綠色能源科技有限公司
地址 224400 江蘇省鹽城市阜寧縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)香港路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型為太陽電池領(lǐng)域，具體涉及一種PECVD特氣管路，包括特氣管，與其相連通的管道組件，所述特氣管上均勻開設(shè)氣孔；所述氣孔面積相同，呈直線排列，其開孔方向面向硅片；所述管道組件包括相連通的第一管道組件、第二管道組件、第三管道組件和三通接頭；所述氣孔包括氣孔本體和氣流引導(dǎo)裝置，所述氣流引導(dǎo)裝置位于氣孔本體外側(cè)，所述氣流引導(dǎo)裝置從上到下橫截面逐漸縮小，包括第一引導(dǎo)裝置和第二引導(dǎo)裝置，所述第一引導(dǎo)裝置位于第二引導(dǎo)裝置下方，所述第二引導(dǎo)裝置的高度為第一引導(dǎo)裝置的一半。本實用新型所述的PECVD特氣管路能夠優(yōu)化氣流的均勻性，減少生產(chǎn)過程中的氣孔堵塞，降低設(shè)備維護成本。