一種去除硅片油污的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910608069.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110416064A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN110416064A 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L21/02;H01L31/18;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 樊選勝;宛正;繆云展;曹磊 申請（專利權(quán)）人 阜寧蘇民綠色能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董建林
地址 224400 江蘇省鹽城市阜寧縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)香港路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種去除硅片油污的方法，首先對硅片進(jìn)行烘烤處理，能夠通過高溫烘烤將主要油污炭化，油污的主要成分就是有機(jī)物，有機(jī)物在高溫通氧的情況下會發(fā)會發(fā)生氧化反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳、水。堿性清洗劑溶液能夠與殘留在硅片表面的金屬粉末反應(yīng)并將其溶解，然后用水清洗太陽能電池硅片，進(jìn)而能夠去除殘留在太陽能電池硅片表面的金屬粉末。雙氧水溶液能夠?qū)埩粼谔柲茈姵毓杵砻娴挠袡C(jī)溶劑氧化并將其溶解；然后用水清洗太陽能電池硅片，進(jìn)而能夠去除殘留在太陽能電池硅片表面的有機(jī)溶劑。然后在用水清洗、烘干得較干凈的太陽能電池硅片，硅片油污被有效去除、硅片無需降級處理，有效提高了硅片生產(chǎn)效率。