一種鍍膜裝置的旋轉(zhuǎn)盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021813583.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213113485U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213113485U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類號(hào) C23C14/50 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張少波;汪敏軍;許紅燈;劉維良;盛耀武;趙勇進(jìn);趙永向;查成樹(shù);張敏豪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 凱盛信息顯示材料（池州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆明合眾智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 葉春娜
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鍍膜裝置的旋轉(zhuǎn)盤，包括安裝夾具，所述安裝夾具的側(cè)壁上均勻設(shè)置有多個(gè)固定口，所述安裝夾具的上端設(shè)置有螺桿組件，所述固定口上安裝有安裝框，所述螺桿組件貫穿安裝夾具抵在固定口內(nèi)的安裝框表面將其固定在安裝夾具上，所述安裝夾具的外側(cè)壁上固定有支撐架，所述安裝框卡在支撐架內(nèi)，所述定位夾具安裝在安裝框上，所述安裝框的側(cè)邊固定有抵觸組件，所述抵觸組件卡在定位夾具的上端面；本實(shí)用新型安裝框可直接通過(guò)固定口從安裝夾具內(nèi)進(jìn)行拆卸，通過(guò)插拔的方式進(jìn)行安裝，步驟簡(jiǎn)單，支撐架對(duì)安裝框進(jìn)行導(dǎo)向和支撐，有效地防止安裝框在安裝時(shí)發(fā)生偏移，柵欄板在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)各處蒸發(fā)離子進(jìn)行輕微擾動(dòng)，使得基片的鍍膜層更加均勻。