一種硅溶膠及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111376278.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113912070A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113912070A 申請公布日 2022-01-11
分類號 C01B33/141（2006.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;B82Y40/00（2011.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李小龍;李清濤;潘曉峰;肖桂林;朱順全 申請（專利權(quán)）人 湖北鼎龍控股股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430057湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東荊河路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種結(jié)構(gòu)致密且粒徑均一的硅溶膠及其制備方法。本發(fā)明的硅溶膠，二氧化硅膠體粒子分散在液體溶劑中，二氧化硅膠體粒子的真實(shí)密度為2.1～2.2g/cm3，二氧化硅膠體粒子表面的硅烷醇基密度為1.0?3.0個(gè)/nm2，真實(shí)密度高，硅烷醇基含量低，是一種高純、粒徑均一的硅溶膠。