一種碳酸鈣/二氧化硅核殼型納米復(fù)合磨料及其制備方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010722551.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111925731A | 公開（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111925731A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-13 |
| 分類號(hào) | C09G1/02(2006.01)I | 分類 | 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用; |
| 發(fā)明人 | 劉衛(wèi)麗;馮道歡;宋志棠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海新安納電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;上海新安納電子科技有限公司;浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司 |
| 地址 | 200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種碳酸鈣/二氧化硅核殼型納米復(fù)合磨料及其制備方法和應(yīng)用，所述復(fù)合磨料以碳酸鈣納米顆粒為核，二氧化硅顆粒為殼。本發(fā)明具有獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和性能，相比純硅溶膠而言，對(duì)硅片、氧化硅片、二氧化硅層、氮化硅層等介質(zhì)層材料的拋光速率更快；相比氧化鋁磨料而言，對(duì)介質(zhì)層材料的拋光后的表面質(zhì)量更好，具有良好的應(yīng)用前景。?? |
