一種SiC晶圓拋光液及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010620169.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111748287A 公開（公告）日 2020-10-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN111748287A 申請(qǐng)公布日 2020-10-09
分類號(hào) C09G1/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 汪為磊;劉衛(wèi)麗;霍軍朝;宋志棠;許永輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海新安納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;上海新安納電子科技有限公司;浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司
地址 200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種SiC晶圓拋光液及其制備方法和應(yīng)用，按重量百分比，包括如下組分：液相載體35?90％；磨料顆粒0.01?40％；氧化劑0.01?30％。本發(fā)明通過選擇合理的磨料顆粒和氧化劑并進(jìn)行合理組合，使得拋光液的拋光質(zhì)量、拋光速率亦獲得很大提升；制備方法簡(jiǎn)單，成本低，具有良好的應(yīng)用前景。??