靜電吸盤氦漏固定夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022635293.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213336657U 公開(公告)日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN213336657U 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) G01M3/20(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 張巍;馬俊峰;朱順存 申請(qǐng)(專利權(quán))人 浙江新納陶瓷新材有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 代理人 林君勇
地址 322118浙江省金華市東陽市橫店工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種靜電吸盤氦漏固定夾具,包括固定圓盤,所述固定圓盤的上端面上設(shè)有第一密封圈和與第一密封圈同軸設(shè)置的第二密封圈,所述固定圓盤的軸心處設(shè)有用于抽真空且上下貫穿固定圓盤的通孔,所述固定圓盤上還設(shè)有多個(gè)用于供電線穿過的穿孔。本實(shí)用新型具有密封性好,可適用多種規(guī)格型號(hào)的靜電吸盤,操作簡單且高效等特點(diǎn)。??