靜電吸盤加熱器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022635404.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214154866U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214154866U 申請公布日 2021-09-07
分類號 H05B3/02（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 張巍;馬俊峰;朱順存 申請（專利權）人 浙江新納陶瓷新材有限公司
代理機構 杭州斯可睿專利事務所有限公司 代理人 林君勇
地址 322118浙江省金華市東陽市橫店工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種靜電吸盤加熱器，包括用于加熱靜電吸盤工件的加熱盤，所述加熱盤通過電線與溫度控制器連接；上述加熱盤的設置，無需使用烘箱加熱，可以對加熱盤進行加熱，從而可以通過加熱盤與靜電吸盤工件的局部接觸實現(xiàn)對靜電吸盤工件上指定部位的加熱，避免靜電吸盤工件的整體溫度偏高，避免損傷靜電吸盤其他部件，且接觸式加熱大大提高了產品的加熱效率，同時加熱盤可以適用各類型號靜電吸盤尺寸規(guī)模，而溫度控制器的設置，可以保證對加熱盤的加熱穩(wěn)定，升溫速率快，可以對加熱盤進行恒溫控制，且在對加熱盤加熱后可以直接進行工件拆解，從而可以降低能源的損耗。本實用新型具有加溫效率高且能耗低等特點。