一種混合PiN結(jié)肖特基二極管及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910707755.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN110571281A 公開(公告)日 2019-12-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN110571281A 申請(qǐng)公布日 2019-12-13
分類號(hào) H01L29/872(2006.01); H01L29/868(2006.01); H01L21/329(2006.01) 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任娜 申請(qǐng)(專利權(quán))人 山東天岳電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 王素花
地址 250118 山東省濟(jì)南市槐蔭區(qū)美里湖辦事處鄒莊南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種混合PiN結(jié)肖特基二極管及制造方法,混合PiN結(jié)肖特基二極管包括:等離子擴(kuò)散層和半導(dǎo)體區(qū)域;半導(dǎo)體區(qū)域設(shè)置在外延層表面的下方;半導(dǎo)體區(qū)域包括:多個(gè)元胞,每一個(gè)元胞包括:一個(gè)第一區(qū)域和多個(gè)第二區(qū)域;等離子擴(kuò)散層設(shè)置在外延層表面的下方,且等離子擴(kuò)散層包括多個(gè)等離子擴(kuò)散通道,每一個(gè)等離子擴(kuò)散通道連通兩個(gè)元胞中的第一區(qū)域,并穿過元胞中各第二區(qū)域;第一區(qū)域、多個(gè)第二區(qū)域、等離子擴(kuò)散層與外延層構(gòu)成混合PiN結(jié)肖特基二極管的PN結(jié)。本申請(qǐng)能夠提高混合PiN結(jié)肖特基二極管的抗浪涌電流能力。