一種用于磨片機(jī)磨液的節(jié)流裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021914738.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213673621U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213673621U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B57/02（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 韓云霄;楊波;李戰(zhàn)國(guó) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 衛(wèi)煜睿 |
| 地址 | 471000河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于磨片機(jī)磨液的節(jié)流裝置，包括蠕動(dòng)泵、出液管、緩存槽、進(jìn)液管、高限位傳感器、低限位傳感器、電子閥和手動(dòng)閥，所述出液管設(shè)置在所述蠕動(dòng)泵內(nèi)，出液管的一端連接磨片機(jī)，另一端與所述緩存槽連通，緩存槽內(nèi)腔的底部平鋪有防堵塞斜面，緩存槽的外壁上安裝所述高限位傳感器和所述低限位傳感器，高限位傳感器設(shè)置在低限位傳感器上方，所述電子閥和所述手動(dòng)閥設(shè)置在進(jìn)液管上，高限位傳感器和低限位傳感器為電子閥提供工作信號(hào)。本實(shí)用新型通過(guò)磨液溫流裝置可有效節(jié)省生產(chǎn)中磨液消耗及穩(wěn)定磨片工藝、提升研磨硅片質(zhì)量。 |
