一種提高氣缸運動行程的放大伸縮機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020676164.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212584047U 公開（公告）日 2021-02-23
申請公布號 CN212584047U 申請公布日 2021-02-23
分類號 F15B15/02(2006.01)I; 分類 流體壓力執(zhí)行機構；一般液壓技術和氣動技術;
發(fā)明人 賈波;牛海濤;郭光燦;馬龍峰;張明亮 申請（專利權）人 麥斯克電子材料股份有限公司
代理機構 洛陽公信知識產(chǎn)權事務所（普通合伙） 代理人 陳佳麗
地址 471000河南省洛陽市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種提高氣缸運動行程的放大伸縮機構，涉及硅片陶瓷盤的取料輸送裝置技術領域，包括上層機架、中間機架和底層機架，中間機架位于底層機架和上層機架之間，底層機架上平行設有2條直線導軌，中間機架通過底層機架上的直線導軌在底層機架上滑動；中間機架包括對稱設置的兩條滑軌，兩條滑軌之間通過位于滑軌一端的連接板固定連接，氣缸的伸出軸與連接板連接，上層機架通過其底部設置的軸承與滑軌配合實現(xiàn)上層機架在中間機架上的滑動。本實用新型有益效果：本實用新型以鋼絲為行程放大機構，結構簡單，運動行程大，解決了拋光生產(chǎn)過程中對載體陶瓷盤進行取料困難的問題，實現(xiàn)了陶瓷盤取料機構的輕便化，為其它拋光設備取料提供了有效的解決方案。??