一種硅片背面軟損傷加工過程中用粉塵油污收集裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020412293.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212578402U | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請公布號 | CN212578402U | 申請公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號 | B24C9/00(2006.01)I; | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 郭棟梁;焦二強(qiáng);張明亮;李建剛;馬龍峰 | 申請（專利權(quán)）人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳佳麗 |
| 地址 | 471000河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種硅片背面軟損傷加工過程中用粉塵油污收集裝置，涉及半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括長方體形狀頂部開口的收集器外殼，收集器外殼兩側(cè)內(nèi)壁上分別設(shè)置一塊具有4層滑道的四氟板，收集器外殼內(nèi)還設(shè)有7塊頭尾聯(lián)接的可移動滑板，可移動滑板的兩側(cè)安裝在四氟板上的滑道內(nèi)沿滑道滑動，位于中間位置的可移動滑板為背面軟損傷加工設(shè)備的噴槍聯(lián)接板，其安裝在最上層的滑道內(nèi)且其中心位置設(shè)有長方形的噴槍架穿孔。本實用新型有益效果：在防止加工設(shè)備粉塵油污掉落造成硅片表面加工不均勻形成暗點，進(jìn)而造成硅片報廢造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失的同時，不影響硅片的整體加工，提高了產(chǎn)能，大大降低企業(yè)經(jīng)濟(jì)損失。?? |
