一種POLY-Si臥式背封爐用立式石英舟裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020948851.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211858609U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211858609U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-03 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 寇文輝;苗利剛;胡曉亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 地址 | 471000河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種POLY?Si臥式背封爐用立式石英舟裝置，包括上擋板、硅片支撐槽棒、硅片定位槽棒和下支撐擋板，所述上擋板和所述下支撐擋板上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，上擋板和下支撐擋板之間設(shè)有所述硅片支撐槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撐槽棒和硅片定位槽棒的頂端均通過(guò)焊接方式連接上擋板，硅片支撐槽棒和硅片定位槽棒的底端均通過(guò)焊接方式連接下支撐擋板。本實(shí)用新型通過(guò)下支撐擋板實(shí)現(xiàn)石英舟在槳上穩(wěn)定放置，通過(guò)四根槽棒實(shí)現(xiàn)硅片的水平放置，通過(guò)定位槽棒實(shí)現(xiàn)硅片在石英舟中的定位，并且保持豎直時(shí)的間距一致，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝片，通過(guò)本實(shí)用新型所述的石英舟裝置，可使用原臥式石英舟倒片器的通用，有效解決了原臥式石英舟加工存在的不足。?? |
