一種硅片離子注入裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122862147.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN216528741U 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號(hào) CN216528741U 申請公布日 2022-05-13
分類號(hào) H01J37/20（2006.01）I;H01J37/317（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李充;王永超;郭城;呂明 申請（專利權(quán)）人 濟(jì)南科盛電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 250200山東省濟(jì)南市章丘市明水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)明埠路中段西面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片離子注入裝置，包括機(jī)體，所述機(jī)體的內(nèi)部設(shè)置有隔板，所述隔板的兩端與機(jī)體的側(cè)壁固定連接，所述隔板的下方機(jī)體的內(nèi)底部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的頂部固定連接有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的表面上對稱設(shè)置有豎板。本實(shí)用新型中，利用電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)蝸桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸桿與蝸輪相互嚙合連接，可帶動(dòng)蝸輪上的豎桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使得對轉(zhuǎn)盤進(jìn)行位置轉(zhuǎn)動(dòng)，不會(huì)因受到注入機(jī)距離的約束，使得在對硅片進(jìn)行注入離子時(shí)量較多，利用電動(dòng)推桿、真空泵和吸盤的配合下，在進(jìn)行硅片注入離子時(shí)移動(dòng)和固定都更加的穩(wěn)定，能夠連續(xù)進(jìn)行注入，提高了注入效率，同時(shí)裝置占地面積小，移動(dòng)方便，具有一定的實(shí)用性。