一種實現(xiàn)共軸的電子束成像設備及實現(xiàn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110810762.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113539769A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113539769A 申請公布日 2021-10-22
分類號 H01J37/26;H01J37/28;G02B21/24 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙焱 申請（專利權）人 蘇州矽視科技有限公司
代理機構 南京常青藤知識產權代理有限公司 代理人 史慧敏
地址 215000 江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)現(xiàn)代大道88號物流大廈（112）-68室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種實現(xiàn)共軸的電子束成像設備，包括電子源，用于發(fā)射主電子束；聚光鏡，用于調節(jié)束張角，即將所述電子源發(fā)射的電子束進行會聚；限制膜孔，用于限制雜散電子和束流；物鏡，用于將入射的主電子束聚焦到樣品表面；探測器，用于收集電子經由光電轉換形成圖像；工作臺，用于承載樣品并將待測區(qū)域移動定位至光軸下方；光學顯微鏡，用于對待測區(qū)域成像定位并關聯(lián)電子光學光軸所對應的位置。本發(fā)明配置折射面，將光學顯微鏡物方光路導入電子光學光路，實現(xiàn)共軸或平行，同時折射面成為樣品表面激發(fā)出的信號電子的轟擊罷免，通過二次電子探測器或環(huán)形探測器接收檢測，進而根據檢測結果調節(jié)光學顯微鏡位置實現(xiàn)并行同位成像，或先后成像。