一種藍(lán)寶石拋光組合物及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611024181.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106700942B 公開(kāi)（公告）日 2018-07-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN106700942B 申請(qǐng)公布日 2018-07-10
分類號(hào) H01L21/302;C09G1/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪海波;魯世斌;萬(wàn)麗娟;張忠祥;楊金;王菲菲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽微半半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 230601 安徽省合肥市經(jīng)開(kāi)區(qū)蓮花路1688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種藍(lán)寶石拋光組合物及其制備方法。所述拋光組合物包含如下質(zhì)量份數(shù)的組分：1～50％硅溶膠、0.15％～6％的速率促進(jìn)劑、0.1％～5％的糖類物質(zhì)和pH值調(diào)節(jié)劑，其余部分為去離子水，pH值范圍為8～12。其制備方法是將各種組分稀釋混合。該組合物具有拋光速率快、表面質(zhì)量好、易于清洗和易于制備等特點(diǎn)。此外，本發(fā)明所涉及的組分均為常見(jiàn)化合物，成本低，且不含有表面活性劑等難以去除的有機(jī)物，易于清洗，也不含無(wú)機(jī)金屬雜質(zhì)，無(wú)污染環(huán)境的風(fēng)險(xiǎn)。