一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110885830.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113561053A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113561053A 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類(lèi)號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/14（2006.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B57/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 王新強(qiáng);王丕龍;楊玉珍;朱建英;趙旺 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 青島佳恩半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢聚信匯智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉丹
地址 266000山東省青島市城陽(yáng)區(qū)城陽(yáng)街道長(zhǎng)城路89號(hào)10號(hào)樓7樓713室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備及方法，包括安裝平臺(tái)，安裝平臺(tái)包括臺(tái)面板，臺(tái)面板頂部的中央轉(zhuǎn)動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)，旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)的軸體穿過(guò)臺(tái)面板底部與傳送電機(jī)的輸出軸固定連接，傳送電機(jī)固定安裝于臺(tái)面板的底部，一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備的制備方法，包括以下步驟：1對(duì)碳化硅晶圓底襯進(jìn)行清潔；2正性光刻膠將晶圓底襯正面覆蓋進(jìn)行加固；3底襯背部減薄，本發(fā)明通過(guò)控制器控制調(diào)節(jié)液壓缸并配合螺紋桿和升降筒的結(jié)構(gòu)設(shè)置，從而調(diào)整篩選翼板的高低位置，從而篩選金剛石研磨液中的大顆粒金剛石，可效避免含金剛石顆粒的減薄基底在減薄碳化硅過(guò)程中由于粘合劑表面露出的金剛石造成深淺不一的劃痕，提高成品率和成品質(zhì)量。