一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121793368.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215433154U 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN215433154U 申請公布日 2022-01-07
分類號 B24B37/10（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/14（2006.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B57/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王新強(qiáng);王丕龍;楊玉珍;朱建英;趙旺 申請（專利權(quán)）人 青島佳恩半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢聚信匯智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉丹
地址 266000山東省青島市城陽區(qū)城陽街道長城路89號10號樓7樓713室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 在本實用新型提供了一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備，包括安裝平臺，安裝平臺包括臺面板，臺面板頂部的中央轉(zhuǎn)動連接有旋轉(zhuǎn)送料臺，旋轉(zhuǎn)送料臺的軸體穿過臺面板底部與傳送電機(jī)的輸出軸固定連接，傳送電機(jī)固定安裝于臺面板的底部，本實用新型通過控制器控制調(diào)節(jié)液壓缸并配合螺紋桿和升降筒的結(jié)構(gòu)設(shè)置，從而調(diào)整篩選翼板的高低位置，從而篩選金剛石研磨液中的大顆粒金剛石，可效避免含金剛石顆粒的減薄基底在減薄碳化硅過程中由于粘合劑表面露出的金剛石造成深淺不一的劃痕，提高成品率和成品質(zhì)量。