一種高純水溶性硅片清洗劑及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111620195.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114317128A 公開（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114317128A 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類號(hào) C11D1/29（2006.01）I;C11D1/72（2006.01）I;C11D3/60（2006.01）I;C11D3/37（2006.01）I;C11D3/22（2006.01）I;C11D3/20（2006.01）I 分類 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 張傳好;周勵(lì);紀(jì)招君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上?；瘜W(xué)試劑研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?？剖⒅R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔣亮珠
地址 200333上海市普陀區(qū)真北路401號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高純水溶性硅片清洗劑及其制備方法，包括以下重量百分比的組分：表面活性劑5～10％、聚合物助洗劑5～15％、助溶劑1～5％、增強(qiáng)劑25～40％和高純水35～50％。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明底漆VOC含量低，且漆膜干性快，韌性好，早期耐水性能佳，防腐性能優(yōu)異，另外，本發(fā)明清洗劑主要用于拋光后硅片清洗及擦片工序，主要祛除硅片在加工過程中表面沾染的潤(rùn)滑劑、灰塵及其它污物。是一種無毒、無害、安全、無污染的清洗劑。