束流檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611129377.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108615666A 公開（公告）日 2018-10-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN108615666A 申請(qǐng)公布日 2018-10-02
分類號(hào) H01J37/244;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張曉峰;金浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司;上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)牛頓路200號(hào)7號(hào)樓單元1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種束流檢測(cè)裝置，該束流檢測(cè)裝置與真空腔的腔壁固定，腔壁上設(shè)置有平行排列的多個(gè)第一通孔，束流檢測(cè)裝置包括：多個(gè)平行間隔設(shè)置、且固定于該大氣側(cè)的法拉第杯，每個(gè)法拉第杯的杯體與該大氣側(cè)相接觸的表面是絕緣的，每個(gè)法拉第杯設(shè)置了用于接收束流的導(dǎo)電部，法拉第杯均位于磁場(chǎng)中且該磁場(chǎng)用于使待檢測(cè)束流中的電子在繞行磁力線的過程中撞擊該腔壁。本發(fā)明采用了固定式束流檢測(cè)方式，通過多個(gè)沿長(zhǎng)邊方向排列的法拉第杯來獲得束流長(zhǎng)邊方向上的采樣點(diǎn)的電流值，從而得到束流的各項(xiàng)參數(shù)，由此避免了移動(dòng)式束流檢測(cè)裝置在檢測(cè)大尺寸束流時(shí)產(chǎn)生的設(shè)備安裝空間要求高、真空力的傳遞造成的真空密封問題、布線困難問題。