真空過濾裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922002042.X 申請日 -
公開（公告）號 CN211513831U 公開（公告）日 2020-09-18
申請公布號 CN211513831U 申請公布日 2020-09-18
分類號 B01D46/12(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 洪俊華 申請（專利權(quán)）人 上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種真空過濾裝置及系統(tǒng)。真空過濾裝置包括：一箱體；分別位于所述箱體兩端的進氣口和排氣口；位于所述進氣口和所述排氣口之間的過濾器，所述過濾器連接于所述箱體的頂板和底板之間；以及，設(shè)置于所述頂板和所述底板中的介質(zhì)通路，其中，所述過濾器包括：相互交錯間隔排列的梳狀板，所述梳狀板用于提供之字形的氣體通路。通過梳狀板所提供的之字形氣體通路和冷卻介質(zhì)的作用，使得自真空腔排出的含有摻雜劑的氣體能冷凝于梳狀板上，保護下游的真空泵組件，延長真空泵的保養(yǎng)周期。??