鉻鋁合金靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410848578.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104451277B 公開（公告）日 2017-02-15
申請公布號 CN104451277B 申請公布日 2017-02-15
分類號 C22C21/00(2006.01)I;C22C27/06(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 宋愛謀;鐘小亮 申請（專利權）人 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
代理機構 青島發(fā)思特專利商標代理有限公司 代理人 馬俊榮
地址 255100 山東省淄博市文昌湖旅游度假區(qū)商家鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于靶材制造技術領域，具體涉及一種鉻鋁合金靶材及其制備方法。鉻鋁合金靶材以鉻和鋁為主元素，該靶材還包含Co、Ti、Ta、W、Nb、Mo、Zr、V、B、Si、Y、La、Ce或Se中至少兩種元素。本發(fā)明通過多種元素的添加可形成多種形態(tài)的氮化、碳化、氮碳化的復合膜層材料；通過改進的熱處理工藝更有利于產品的進一步致密化；通過改進的混粉及脫氣工藝，有效地控制了氧含量。