一種一體成型管靶的生產工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110156015.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112981342B 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN112981342B 申請公布日 2022-02-18
分類號 C23C14/35（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I;B22F3/02（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋海濤;宋愛謀 申請（專利權）人 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市文昌湖區(qū)商家鎮(zhèn)楊家村西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及靶材制造技術的領域，具體公開了一種一體成型管靶的生產工藝，包括以下步驟：裝填：將鈮粉裝填進入包套內，將包套內抽至真空；熱等靜壓：將裝有鈮粉的包套放入熱等靜壓爐內進行熱等靜壓，熱等靜壓過程中熱等靜壓爐內保持持續(xù)抽氣；機加工：熱等靜壓后的包套進行機加工得到最終管靶。本申請的制備方法具有減少靶材氧化，從而提高靶管純度優(yōu)點。