一種高致密導電氧化鈮靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011614214.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112592181A 公開（公告）日 2021-04-02
申請公布號 CN112592181A 申請公布日 2021-04-02
分類號 C23C14/08(2006.01)I;B28B3/00(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/495(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 宋海濤;宋愛謀 申請（專利權(quán)）人 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市文昌湖區(qū)商家鎮(zhèn)楊家村西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種高致密導電氧化鈮靶材的制備方法，涉及材料加工技術(shù)的領(lǐng)域，其包括以下步驟：S1、選擇氧化鈮粉料和金屬鈮粉料作為原料按照配比放入V型混料機中混料，S2、混料完成后經(jīng)高能球磨機進行球磨，S3、球磨好的粉料裝模，S4、熱壓處理制得靶材坯料，S5、冷卻后將靶材坯料取出，S6、將靶材坯料加工成規(guī)定形狀的靶材。本申請具有通過氧化鈮粉料和金屬鈮粉料混合熱壓制得靶材，從而提高靶材導電率的效果。??