一種超低氧含量熱噴涂管靶的生產工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110154668.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112962049A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112962049A 申請公布日 2021-06-15
分類號 C23C4/134（2016.01）I;C23C4/08（2016.01）I;C23C4/16（2016.01）I;B22F1/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋海濤;宋愛謀 申請（專利權）人 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市文昌湖區(qū)商家鎮(zhèn)楊家村西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及靶材制造技術的領域，具體公開了一種超低氧含量熱噴涂管靶的生產工藝，包括以下步驟：氫還原處理：選用鎳粉和鉻粉放入推板窯爐中進行氫還原處理；靶材材料混合：將氫還原處理后的鎳粉和鉻粉進行混料，制得混合金屬粉料；熱噴涂：在氬氣保護氣氛內，采用等離子熱噴涂的方式將混合金屬粉料噴涂于襯管側壁上，混合金屬粉料在襯管側壁上形成一層靶管，制得管靶胚體；精加工：對管靶胚體進行精密機械加工，獲得最終熱噴涂管靶。本申請的制備方法具有減少靶管內氧化物雜質顆粒，提高鍍膜層與玻璃表面的連接牢固度優(yōu)點。